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超純特種氣體材料

高純三氯化硼

發布時間:2014-09-17              發布者:admin              點擊:
  • 三氯化硼.jpg用作硅和鍺外延、擴散和離子注入過程的P型摻雜源。
  • 用于光導纖維、藥品和耐熱涂料的制造。
  • 還可用作鋁的氣相刻蝕劑。
  • 制造IMDRAM需用三氯化硼,可提高集成電路產率。
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